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「光學膜厚監控軟體」公開徵求技術移轉廠商公告

一、簡介

本光學膜厚監控軟體監控波長為 380 nm – 900 nm,監控週期為 0.3 – 0.8 秒,係屬於廣波域光學監控軟體,本軟體可預先評估每層鍍製行為,即時監控光學薄膜之厚度,進行自動鍍膜。同時記錄鍍膜過程中,廣波域光譜隨時間之變化。

二、技轉項目

本中心之光學膜厚監控軟體規格如下:

規格可監控波長380 nm – 900 nm
波長解析度1.02 nm
量測解析度16 bit
積分時間5 ms
穩定度+/− 0.25% pk-pk over 24 hrs @653nm
功能光學監控週期0.3 – 0.8 秒 (依照軟體負載與鍍膜階段自動調整監控週期)
操作語言中文
資料庫Microsoft Office Access 或 Microsoft SQL Server
紀錄檔內容
  1. 鍍膜過程中,所有過程事件
  2. 鍍膜過程中,所有物理參數,如:真空度、通氧量
  3. 鍍膜過程中,所有光譜
其他特點
  1. 屬於廣波域光學監控
  2. 由光學膜厚監控軟體自動選擇監控波長,也可以手動選擇
  3. 預先評估每層鍍製行為
  4. 記錄鍍膜過程中,廣波域光譜隨時間的變化以及事件皆紀錄至資料庫
  5. 可快速產生專業的 Word 或是 Excel 報表
  6. 防止輸入錯誤之設定檔參數編輯功能
  7. 人機操作圖形介面,明瞭易讀

三、相關圖示

程式介面圖

圖一、程式介面圖

四、技術應用範圍

可應用於製作光學薄膜。

五、廠商資格

六、聯絡窗口

有關本中心技術移轉相關規定與資料請參見儀器技術移轉