研究發展
「工欲善其事，必先利其器」，科技進步日新月異，對儀器設備性能 要求與日俱增。本中心早年開展新興技術，帶動國內光電、真空產業蓬勃發展外， 亦不斷累積精密儀器各項技術，除在光學、真空、精密定位掌握技術優勢外，並具備 光、機、電系統整合之實作能力。
近期研製成功微光譜儀、新型真空螺旋邦浦、真空幫浦性能測試系統、超高真空化學氣 相鍍膜系統、近場光學顯微系統等，可分別應用於醫療、半導體製程及度量衡國家標準 之訂定。
目前設有光電與遙測組、奈米技術組、 、真空技術組與儀器工程組， 分別進行微系統、雷射微細加工、 奈米表面檢測、固態雷射、次世代真空幫浦等前瞻性、特殊性儀器及 技術研發，並透由與學術界與高科技產業合作研究，加速落實研發成果。此外， 亦與國外著名研究機構及廠商合作共同開發新世代儀器設備，提升國內尖端儀器 技術水準。
研究室簡介
歷年重要研發成果
重要儀器技術能力
- 奈米級表面分析技術
- 二極體激發固態雷射技術
- 雷射精密量控技術
- 真空系統與鍍膜技術
- 儀器系統整合技術
