重要研發成果
奈米技術
- 電子束微影製程技術 Electron Beam Lithography
- 聚焦離子束製程技術 Focused Ion Beam Fabrication
- 感應耦合電漿離子蝕刻技術 (I) Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etch (I)
- 感應耦合電漿離子蝕刻技術 (II) Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etch (II)
- 準分子雷射微加工技術 Excimer Laser Micromachining Technology
- 生物液珠操控平台 Bio-Droplet Manipulation
- 微型準直光源模組 Miniaturized Light Module with High Collimation
- 微可調變光柵元件 Micro Tunable-Vertical-Grating
- 微光學陣列元件 (球面／非球面／V 溝) Spherical / Aspherical / V-Groove Microlens Array
- 平頂光束整型繞射光學元件 Flat-Top Beam Shaping Diffractive Optical Elements
- 奈米表面檢測技術 Scanning Probe Microscopy
- 奈／微米光學多功能檢測系統 Nano/Micro Optics Versatile Measuring System
遙測技術
- 蕃薯號微微衛星—微光譜儀 Yamsat-spectrometer
- 全景觀測系統 Panoramic Observcation System
- 光度計及影像儀 Photometer & Imager System
- 植被與國土變遷觀測儀 Vegetation and Change Detection Imager
- 高光譜儀 Hyperspectral Imager
- 光輻射度校正 Radiometric Calibration of Imagers
- 光譜式即時測漏儀 Spectra-Based In-situ Leakage Detector
- 光電式煙霧偵測器靈敏度調整裝置 Sensitivity Adjusting Equipment for Photoelectric Smoke Detector
- 背光模組線上全檢儀 BackLight Unit On-line Inspection Instrument
真空技術
- 透明導電薄膜鍍膜技術 Transparent Conductive Oxide Coating
- 奈米球模板技術 Nanosphere Lithography
- 太空級光學薄膜技術 Space Coating Technology
- 多靶平行濺鍍系統 Multi-Target Co-Sputtering System
- 離子源輔助電子束蒸鍍系統 Electron-Beam Gun Evaporation Method with Ion-Assisted Deposition
- 化學束磊晶系統 Chemical Beam Epitaxy System
- 脈衝雷射蒸鍍系統 Pulsed Laser Deposition
- 真空標準實驗室 Vacuum Standard Laboratory
- 薄膜分析檢測技術 Thin Film Measuring Systems
- 真空系統委製委修服務 Vacuum System Technical Service
儀器工程
- 非球面鏡製造技術 Fabrication of Aspheric Lens/Mirror
- 指南車 Compass Chariot
- 1V 低電壓驅動發光器 Light Emitting Element Driver Employing 1V Low Voltage
- 航太級大口徑非球面鏡 Large Aspherical Lens/Mirror
- 非球面鏡檢測技術 Inspection of Aspheric Lens/Mirror
- 光學元件檢測 Optical Element Testing
- 比熱儀 AC Calorimeter
- 冷陰極管特性檢測平台 Cold Cathode Tube Measuring Apparatus
- 逆向流層析儀 Counter Current Chromatography
- 雙極性高壓放大器 Bipolar High Voltage Amplifier
- 經濟型線型 CCD 之電路系統模組 Economical Linear CCD System Module
- 化學氣相沈積真空腔體 Chemical Vapor Deposition Vacuum Chamber
