準分子雷射微加工技術
Excimer Laser Micromachining Technology
簡介
準分子雷射微加工是運用紫外波段的短波長脈衝雷射，將高分子材料內部電子激發，造成瞬間的離子化及材料的分解，準分子雷射幾乎對所有的有機高分子材料，都會造成中度或高度比率的吸收。本中心的雷射加工機屬於光罩投影式加工，可將光罩上的圖樣形成 4 倍或 10 倍縮小投影於高分子材料或金屬薄膜工件上進行加工。
技術能量
- 微透鏡陣列加工
- 金屬薄膜圖案加工
- 微結構加工
- 特殊微曲面製作
規格
- 雷射波長：248 nm
最大脈衝能量：700 mJ
平均功率：65 W
最大重複率：100 Hz - 加工移動平台 X-Y 軸行程：200 mm × 200 mm，Z 軸行程：5 mm
- 投影加工系統－光罩：4"，光束涵蓋光罩面積：10 mm × 10 mm， 投影光學鏡頭倍率：4 倍與 10 倍
應用領域
- 微結構及特殊曲面微結構
- 微透鏡陣列、柱狀透鏡與導電玻璃絕緣處理等
 導電玻璃加工 |
 二維微結構陣列加工 |
