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光譜式即時測漏儀

Spectra-Based In-situ Leakage Detector

光譜式即時測漏儀及試驗架構

簡介

利用量測真空腔體或半導體製程設備中冷陰極管之特徵光譜光量，可於機台運作時，定量或定性進行即時漏氣監測。

技術能量

• 即時漏氣檢測
• 非侵入式監測

規格

• 10⁻³ – 10⁻⁷ Torr：可定量檢測
• > 10⁻³ Torr：可定性發出漏氣警告訊號

應用領域

• 半導體製程設備
• 運轉中機台或製程即時檢驗

真空腔體中冷陰極管特性光譜信號量測範例

Copyright © 2008 國家實驗研究院儀器科技研究中心