奈米球模板技術
Nanosphere Lithography
簡介
自組裝奈米球排列
奈米蜂窩結構
奈米球模板技術為成長奈米結構材料之重要製程，其原理係以自組裝奈米球作為模板，快速地製作大面積週期性奈米結構，可結合相關真空薄膜及微機電製程可開發各種奈米顆粒陣列、奈米碳管與模仁結構。
技術能量
- 奈米球模板技術
- 溶液法奈米球模板技術
- 奈米碳管擇區成長技術
- 擇區奈米球鋪排技術
規格
- 奈米球尺寸： 200、400、800、1000 及 2000 nm
- 奈米顆粒陣列：Pt、Au、Ni、FePt，尺寸：~ 100 nm
- 奈米蜂窩結構：Fe2O3、NiO、ZnO，高度：< 20 nm
- 奈米反應槽：Au、Pt，尺寸：~ 100 nm
應用領域
- 光學元件：光子晶體、生醫元件、非線性光學元件
- 奈米元件：奈米反應槽、奈米場發射元件
 奈米碳管成長 |
 FePt 奈米球 |
 奈米反應槽 |
