薄膜分析檢測技術
Thin Film Measuring Systems
刮傷測試儀
薄膜測厚儀
簡介
本中心為因應光電高科技產業及學術研究之需求，已建立一系列薄膜光學、物理、化學及機械性質分析檢測技術，包括 X 光繞射儀、光譜式橢圓偏光儀、表面輪廓量測儀、四點探針量測儀、分光光譜儀、稜鏡偶合量測儀、刮傷測試儀及薄膜測厚儀等，並提供薄膜檢測技術服務。
技術能量
- 光學性質分析
- 光電特質分析
- 機械性質分析
- 結晶性分析
規格
試片製備：依各分析儀器而定
應用領域
- 薄膜厚度、折射率及消光係數
- ITO、IZO 及 LED 光電特性檢測
- 薄膜表面粗糙、附著性及應力分析
- X 光晶體結構與成分分析
高解析 X 光繞射儀
表面輪廓量測儀
光譜式橢圓偏光儀
四點探針量測儀
稜鏡偶合量測儀
分光光譜儀
