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奈米與微系統技術

• 二氧化矽蝕刻製程開發
• 近場影像光譜檢測儀
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精密光學薄膜設備與製程開發

• CMOS 影像偵測器開發
• 光學薄膜製程監控技術開發
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微奈米元件設備與製程技術開發

• 化學束磊晶系統製程技術開發
• 脈衝雷射鍍膜系統與製程技術開發
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光電遙測技術

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精密機械技術

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儀器電子

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