精密光學薄膜設備與製程開發
光學薄膜製程監控技術開發
具親和力且多功能的視窗操作介面
濾光片成品
開發目的
目前國內真空鍍膜系統廠商自製之光學薄膜鍍膜系統已有相當市場佔有率，唯在高可靠度自動控制與高精密度光學膜厚監控技術仍不及先進國家水準，尚待改進。因此，整合中心現有鍍膜設備技術，並針對市場需求之各式光學薄膜元件，開發全自動精密光學監控技術。本項技術可協助國內光學鍍膜產業建立穩定可靠的多層膜光學薄膜自動化製程，提高產品良率，降低管理成本。
規格與特徵
- 光學薄膜高低折射率介電膜之厚度控制，自動判斷停鍍點。
- 複合式判斷法則：廣波域穿透率變化量、全光譜符合程度與特徵，提升系統穩定性。
- 迴圈時間 0.3 秒，反應時間靈敏。
- 製程參數資料庫化，可發布成報表或在網路瀏覽。
- 鍍膜過程完全紀錄，有助於日後分析、教學與訓練之應用。
應用
- 相機鏡頭抗反射薄膜之製鍍
- 投影機之紅、綠、藍濾光片製鍍
- 雷射反射鏡
- 光通訊元件
- 防偽商標製作
用同樣的製程連鍍三次，僅相差 4 nm
理論與實驗僅相差 1 nm
計畫聯絡人
張永欣
E-mail: ben@itrc.org.tw
