精密機械技術
超精密鑽石車削與輪磨系統加工技術開發
開發目的
為配合國內光電產業之蓬勃發展,儀器科技研究中心在既有之傳統光學加工與精密光機元件、微光學元件以及非球面光學元件之加工與檢測技術能量上,引進 Precitech 五軸超精密鑽石車削輪磨機,以擴展完整的光學工程技術陣容,滿足多樣性之研發需求。
規格與特徵
- 行程:X 軸 350 mm、Y 軸 150 mm、Z 軸 250 mm、B 軸 360°、C 軸 360°
- 定位精度:線性軸 ≤ ±0.2 µm、旋轉軸 ≤ ±10 arc-sec
- 工件主軸 (SP-150):最高轉速 5000 rpm,荷重 57 kg,運動精度 ≤ 50 nm
- 研磨主軸 (SP-75FF):最高轉速 10,000 rpm,運動精度 ≤ 50 nm
- 控制器:UPx
- 快刀伺服器:響應頻寬 700 Hz,行程 70 µm

多軸超精密加工機

快刀伺服加工

飛刀加工

超精密輪磨加工
應用
- 單點鑽石車削:
- 球面、非球面等軸對稱元件
- 可加工材料:鋁、銅、無電解鎳等非鐵類金屬材料與塑膠材料
- 產業應用:塑膠透鏡、金屬反射鏡、射出模仁等
- 鑽石輪磨:
- 球面、非球面、3D自由曲面元件加工
- 可加工材料:玻璃、石英、陶瓷等脆性材料或高硬度模具鋼材
- 產業應用:f-θ 透鏡或模仁、模造玻璃模仁

大口徑離軸拋物球面鏡 (單點鑽石車削)

LCD 背光模組模仁 (飛刀加工)

離軸拋物面鏡 (飛刀加工)

透鏡陣列 (快刀伺服加工)

儀科中心標誌 (快刀伺服加工)
計畫聯絡人
許巍耀
E-mail: hsuweiyao@itrc.org.tw