服務項目

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．煙霧散射強度模擬裝置(火警偵煙器感度調校裝置)

火災煙霧偵測器生產線上感度快速調校。
火災煙霧偵測器於安裝位置不需拆卸即可現場檢測。
其他利用偵測散射光測定固定空間微粒濃度儀器之調校。

本案已獲中華民國專利，美國專利審查中
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．半導體製程設備即時測漏監視設備雛型開發
　　
　　計畫期間：民國91年12月30日至92年8月15日
　　
　　量測目標規格：　　

壓力範圍: 0.1~10-3 torr
氦氣漏率< 10-5 std.cc/s
　
壓力範圍: 10-4~10-7 torr
氦氣漏率< 10-6 std.cc/s

技術聯絡人: 李龍正博士　Email:ljlee@pidc.gov.tw
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